RF技術(shù)在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用
- 等離子體需要射頻電源系統(tǒng)激發(fā)高活性、高能量的等離子體。射頻電源系統(tǒng)的性能直接影響等離子體的濃度、均勻性和穩(wěn)定性等，繼而影響薄膜沉積的厚度、密度、應(yīng)力、速率，以及刻蝕的選擇性、方向性、速率、質(zhì)量等，最終影響晶圓制造工藝的能力、良率和效率。此外，生產(chǎn)過程等離子體腔室阻抗的變化十分復(fù)雜。為了提高集成電路品質(zhì)，要保證等離子體均勻穩(wěn)定，才能夠完全吸收來自射頻源的功率。這需要適配器提供高精度的自動(dòng)阻抗匹配。。
